به گزارش رویترز، این نمونه اولیه که در اوایل سال ۲۰۲۵ تکمیل شد و هماکنون در حال آزمایش است، ابعادی تقریبا به اندازه سالن یک کارخانه دارد و توسط تیمی از مهندسان سابق شرکت هلندی ایاسامال هولدینگ ساخته شده که دستگاههای لیتوگرافی فرابنفش فرین (EUV) این شرکت را مهندسی معکوس کردهاند.
دستگاههای EUV که در حال حاضر محور جنگ سرد فناورانه محسوب میشوند، از پرتوهای فرابنفش فرین برای فرایند زدایش (etching) مدارهایی با قطر هزاران برابر نازکتر از موی انسان بر روی ویفرهای سیلیکونی استفاده میکنند. هر چه مدارها کوچکتر باشند، تراشهها قدرتمندتر خواهند بود؛ و این فناوری فعلا در انحصار غرب است.
منابع مطلع به رویترز گفتهاند که دستگاه چینی عملیاتی شده و پرتو فرابنفش فرین را تولید میکند، ولی هنوز تراشههای قابل استفادهای با آن ساخته نشدهاند.
مدیر عامل اجرایی ایاسامال در ماه آوریل گفته بود که چین سالهای سال تا رسیدن به این فناوری فاصله دارد. اما ساخت این نمونه اولیه به معنای آن است که چینیها احتمالا چندین سال زودتر از پیشبینی تحلیلگران به استقلال در صنعت نیمرسانا دست خواهند یافت.
با این وجود، پکن هنوز با چالشهای فنی بزرگی – بهویژه در مورد ساخت نمونههایی مشابه سامانههای نوری دقیق غربی – مواجه است.
رویترز به نقل از برخی منابع نوشته است که چینیها توانستهاند با خرید دستگاههای قدیمیتر شرکت ایاسامال از بازارهای ثانویه و استفاده از قطعات آنها توانستهاند نمونه اولیه خود را بسازند، و دولت قصد دارد تا سال ۲۰۲۸ به مرحله تولید تراشههای کاربردی و قابل استفاده با این نمونه اولیه برسد.
ولی برخی از دستاندرکاران این پروژه گفتهاند هدفگذاری واقعبینانهتر، سال ۲۰۳۰ است که البته باز هم بسیار زودتر از پیشبینیهای قبلی کارشناسان خواهد بود.
این موفقیت بزرگ، نقطه اوج تلاشهای شش ساله دولت چین برای دستیابی به خودکفایی در صنعت نیمرسانا است که یکی از مهمترین اولویتهای شی جین پینگ هم به شمار میرود. اهداف پکن درباره نیمرساناها علنی بوده، اما پروژه EUV شنژن به صورت مخفیانه انجام شده است.
این پروژه ذیل راهبرد نیمرساناهای چین قرار میگیرد که به گفته رسانههای دولتی، دینگ شهشیانگ (از معتمدان شی جین پینگ و رئیس کمیسیون مرکزی علم و فناوری حزب کمونیست) هدایت آن را بر عهده دارد.
هواوی، غول صنعت الکترونیک چین هم نقشی کلیدی در هماهنگی شبکهای از شرکتها و موسسات پژوهشی دولتی در سرتاسر این کشور ایفا میکند که هزاران مهندس در آنها برای پیشبرد صنعت ساخت تراشه مشغول کار هستند.
منابع رویترز این طرح را نسخه چینی پروژه منهتن – پروژهای که منجر به ساخت نخستین بمب اتمی در آمریکا شد – نامیدهاند.
یکی از این افراد گفته هدف پکن این است که نهایتا بتواند تراشههای پیشرفته را با دستگاههایی که تماما ساخت چین هستند، بسازد و آمریکا را به طور کامل از زنجیره تامین خود حذف کند.
تا امروز فقط یک شرکت در جهان توانسته بر فناوری EUV تسلط یابد: ایاسامال، که دفتر مرکزی آن در فلدهوفن هلند قرار دارد. دستگاههای ساخت این شرکت به قیمت حدود ۲۵۰ میلیون دلار فروخته میشوند و تمام شرکتهای دیگر دنیا برای تولید پیشرفتهترین تراشهها به آنها وابستهاند.
ایاسامال نخستین نمونه اولیه کاربردی دستگاه EUV خود را در سال ۲۰۰۱ ساخت و پس از حدود دو دهه تلاش و صرف میلیاردها یورو بودجه تحقیق و توسعه، در سال ۲۰۱۹ توانست اولین تراشههای تجاری را با این فناوری تولید کند.
محصولات این شرکت هماکنون در دسترس متحدان واشنگتن از جمله تایوان، کره جنوبی و ژاپن قرار دارند؛ ولی دولت آمریکا از سال ۲۰۱۸ اعمال فشار بر هلند به منظور ممانعت از فروش تجهیزات EUV شرکت ایاسامال به چین را آغاز کرد. در سال ۲۰۲۲ دولت بایدن محدودیتهای صادراتی بسیار گستردهای را اعمال نمود که برای قطع کامل دسترسی چین به فناوری نیمرساناهای پیشرفته طراحی شده بودند و به این ترتیب شرایط برای پکن سختتر شد. ایاسامال به رویترز گفته که تاکنون حتی یک دستگاه EUV هم به مشتریان داخل چین فروخته نشده است.
تحریمهای واشنگتن به تجهیزات EUV محدود نبوده و دستگاههای قدیمیتر لیتوگرافی فرابنفش عمیق (DUV) را که نسل قبلی تراشهها (مثل تراشههای مورد استفاده هواوی) با آنها تولید میشوند را نیز در بر میگیرد. هدف تحریمهای مذکور این بوده است که چین را حداقل یک نسل در صنعت ساخت تراشه عقب نگه دارند.
وزارت امور خارجه آمریکا اعلام کرده که دولت ترامپ اجرای محدودیتهای صادراتی در مورد تجهیزات پیشرفته تولید نیمرسانا را تشدید نموده است و با شرکای خود همکاری میکند تا «به موازات پیشرفت فناوری، راههای گریز را ببندد».
همچنین طبق اعلام وزارت دفاع هلند، این کشور مشغول تدوین سیاستهایی است که «موسسات دانشمحور» را ملزم میکند تا با انجام غربالگری پرسنل، از دسترسی «افراد با نیتهای سوء یا افرادی که ممکن است تحت فشار قرار گیرند» به فناوریهای حساس جلوگیری نمایند.
سالهاست که محدودیتهای صادراتی، پیشرفت چین به سمت خودکفایی در صنعت نیمرسانا را کند کرده و موانعی در برابر ساخت تراشههای پیشرفته در هواوی به وجود آورده است.
پروژه منهتن چین
یک مهندس چینی که سابقه کار در ایاسامال را داشت پس از استخدام برای فعالیت در این پروژه، با کمال تعجب متوجه شد که مبلغ سخاوتمندانه پاداش امضای قراردادش با یک کارت شناسایی با نام جعلی همراه است.
او بعدا سایر همکاران سابقش در ایاسامال را هم در محل کار جدیدش ملاقات کرد که آنها نیز با نام مستعار مشغول کار بودند و همگی دستور داشتند برای حفظ محرمانگی، در محل کار از نامهای جعلی خود استفاده کنند.
دستورالعملها واضح بود: طبق طبقهبندی امنیت ملی، هیچ کسی خارج از محل کار نباید متوجه میشد که آنها چه چیزی میسازند، یا اصلا در چنین جایی کار میکنند.
گروه مجری این پروژه شامل مهندسان و محققان سابق و تازه بازنشسته شده ایاسامال متولد چین بود، که دانش فنی حساسی داشتند ولی پس از ترک آن شرکت با محدودیتهای حرفهای کمتری مواجه بودند.
دو نفر از کارمند فعلی ایاسامال با ملیت چینی هم در هلند به رویترز گفتهاند که حداقل از سال ۲۰۲۰، افرادی از طرف هواوی برای جذب و استخدام با آنها تماس گرفتهاند.
قوانین حفظ حریم خصوصی اروپا، توانایی ایاسامال برای ردیابی و پیگیری وضعیت کارکنان سابقش را محدود میسازد. کارمندان این شرکت پیماننامه عدم افشا را امضا میکنند، ولی الزام و اجرایی کردن این پیماننامهها در کشورهای دیگر دشوار است.
ایاسامال در سال ۲۰۱۹ توانست در پروندهای ۸۴۵ میلیون دلاری علیه یک مهندس سابق چینی خود که متهم به سرقت اسرار تجاری بود پیروز شود؛ اما متهم اعلام ورشکستگی کرد و کماکان با حمایت دولت چین در پکن به فعالیتش ادامه میدهد.
این شرکت به رویترز گفته که با دقت و هشیاری کامل از اسرار تجاری و اطلاعات محرمانهاش محافظت میکند، به طوری که حتی در داخل شرکت هم فقط گروه محدودی از پرسنل به اطلاعات مربوط به فناوری EUV دسترسی دارند؛ و اگر چه نمیتواند کنترلی بر محل کار کارکنان سابق خود داشته باشد، اما همه کارکنانش ملزم به رعایت بندهای محرمانگی قراردادهای خود هستند.
سازمان اطلاعات هلند در ماه آوریل در گزارشی هشدار داد که چین «از برنامههای جاسوسی گستردهای برای دستیابی به فناوری و دانش پیشرفته کشورهای غربی استفاده کرده» که استخدام کارکنان شرکتهای فعال در حوزه فناوریهای پیشرفته غربی هم بخشی از آن است.
منابع مطلع رویترز گفتهاند که بدون کمک پرسنل سابق ایاسامال و دانش و شناخت عمیق آنها درباره این فناوری، مهندسی معکوس دستگاه EUV در شنژن تقریبا غیر ممکن بود.
مطابق بررسیهایی که رویترز در مورد اسناد سیاستهای دولت چین به عمل آورده، استخدام آنها بخشی از برنامهای تهاجمی بود که پکن در سال ۲۰۱۹ برای جذب متخصصان صنعت نیمرسانای شاغل در خارج از چین آغاز نمود و علاوه بر یارانه خرید خانه، مبالغی که از ۳ تا ۵ میلیون یوآن (۴۲۰ تا ۷۰۰ هزار دلار) شروع میشد را به عنوان پاداش امضای قرارداد به این افراد پیشنهاد میداد.
یکی از استخدامشدگان، لین نان، رئیس سابق بخش فناوری منبع نور ایاسامال بوده که هماکنون مدیریت گروهی از پژوهشگران را در موسسه اپتیک شانگهای (وابسته به آکادمی علوم چین) بر عهده دارد و این گروه طی ۱۸ ماه ۸ پتنت را در زمینه منابع نوری EUV ثبت کرده است.
برخی از شهروندان دارای تابعیت کشورهای دیگر نیز گذرنامههای چینی و اجازه حفظ تابعیت دوگانه را دریافت نمودهاند؛ در حالی که داشتن تابعیت دوگانه برای شهروندان چینی رسما ممنوع است.
نگاهی به درون مرکز تراشهسازی EUV چین
پیشرفتهترین دستگاههای EUV شرکت ایاسامال تقریبا ابعادی به اندازه یک اتوبوس و ۱۸۰ تن وزن دارند. اما تلاشها در شنژن برای ساخت دستگاهی با همین ابعاد شکست خورده و در نهایت نمونه اولیه چندین برابر بزرگتر از اینها ساخته شده است تا قدرت آن افزایش یابد.
البته این نمونه هم هنوز به اندازه محصولات ایاسامال قدرتمند نیست، ولی میتوان به شکل آزمایشی از آن استفاده کرد.
یکی از دلایل اصلی ضعیفتر بودن دستگاه چینی، عدم دسترسی سازندگانش به سامانههای اپتیکی مانند محصولات شرکت کارل زایس آگ آلمان (از تامینکنندگان اصلی تجهیزات مورد استفاده در ایاسامال) بوده است.
در وبگاه شرکت زایس آمده که این سامانهها ۵۰ هزار بار در ثانیه پرتو لیزر را به فلز قلع مذاب میتابانند تا پلاسمایی با دمای ۲۰۰ هزار درجه سلسیوس ایجاد شود؛ و پرتوها را با آینههایی متمرکز میکنند که ساختشان ماهها به طول میانجامد.
مراکز تحقیقاتی برتر چین سعی کردهاند جایگزینهای داخلی برای این سامانهها بسازند.
موسسه اپتیک، مکانیک دقیق و فیزیک چانگچون (CIOMP)، وابسته به آکادمی علوم چین، اوایل سال ۲۰۲۵ به موفقیتهای چشمگیری در زمینه استفاده از پرتو فرابنفش فرین در سامانه اپتیکی نمونه اولیه دستگاه EUV شنژن دست یافته و به این ترتیب مسیر را برای عملیاتی شدن آن باز کرده است، ولی هنوز باید اصلاحات فراوانی در تجهیزات اپتیکی انجام شود.
در ماه مارس این موسسه در یک فراخوان استخدام آنلاین در وبگاه خود اعلام کرد که به پژوهشگران حوزه لیتوگرافی دارای مدرک دکتری با حقوق «بدون سقف» نیاز دارد و کمکهزینههای پژوهشی تا سقف ۴ میلیون یوآن (۵۶۰ هزار دلار) به علاوه یک میلیون یوآن (۱۴۰ هزار دلار) یارانه شخصی هم به آنها ارائه میدهد.
یکی از مهندسان سابق ایاسامال میگوید اگر منبع نور ساخته شده از قدرت کافی و قابلیت اطمینان برخوردار باشد و «آلودگی» زیادی ایجاد نکند، چینیها به «پیشرفت معناداری» دست یافتهاند.
وی میافزاید که بدون شک این کار از نظر فنی امکانپذیر است و رسیدن به آن فقط به زمان نیاز دارد. نکته مثبت برای چین این است که فناوری EUV تجاری هماکنون وجود دارد و لازم نیست از نقطه صفر شروع کنند.
چینیها برای تهیه قطعات مورد نیاز، به دستگاههای قدیمی شرکت ایاسامال متوسل شده و نیز برخی قطعات را از طریق بازار تجهیزات دست دوم، از تامینکنندگان اصلی ایاسامال میخرند.
گاهی اوقات هم از شبکه شرکتهای واسطه برای پنهان کردن خریدار نهایی استفاده میشود.
مثلا بعضی قطعات تحریمی ساخت شرکتهای نیکون و کانن ژاپن با همین روشها تهیه و در نمونه اولیه شنژن استفاده شدهاند.
تجهیزات قدیمی ساخت نیمرساناها مرتبا به شکل حراجی به فروش میرسند. اطلاعات موجود در پلتفرم حراج علیبابا (Alibaba Auction) نشان میدهد که در جدیدترین حراج از این نوع، در اکتبر ۲۰۲۵ تجهیزات لیتوگرافی قدیمی ایاسامال در چین فروخته شدهاند.
گروهی متشکل از حدود ۱۰۰ فارغالتحصیل جدید دانشگاه نیز بر مهندسی معکوس قطعات دستگاههای لیتوگرافی EUV و DUV تمرکز دارند.
از میز کار هر یک از پرسنل با دوربینی مجزا فیلمبرداری میشود تا کلیه مراحل دمونتاژ و مونتاژ مجدد قطعات ثبت گردد؛ و به افرادی که بتوانند یک قطعه را دوباره مونتاژ کنند، پاداشهایی تعلق میگیرد.
متخصصان هواوی در محل کارشان اقامت دارند
پروژه EUV را دولت چین اجرا میکند، ولی هواوی هم در تمام مراحل زنجیره تامین، از طراحی تراشه تا تولید و استفاده از آن در محصولات نهایی مانند تلفنهای هوشمند، مشارکت دارد و مدیر عامل اجرایی این شرکت رهبران ارشد چین را در جریان پیشرفت کارها قرار میدهد.
واشنگتن در سال ۲۰۱۹ نام هواوی را در فهرست سیاه قرار داد و شرکتهای آمریکایی برای تجارت با آن به مجوز دولت آمریکا نیاز دارند.
کارکنان هواوی در دفاتر، کارخانههای تولیدی و مراکز پژوهشی سراسر چین مستقر شدهاند و مستقیما در طرح ملی ساخت تراشه این کشور همکاری میکنند. بسیاری از آنها اغلب در محل کار میخوابند و در طول هفته اجازه بازگشت به خانه را ندارند؛ و برای افرادی که وظایف حساستری را انجام میدهند، دسترسی به تلفن نیز محدود شده است.
درون شرکت هواوی هم فقط تعداد اندکی از پرسنل از ابعاد واقعی کار اطلاع دارند. یکی از آنها میگوید گروههای فعال در این پروژه برای حفظ محرمانگی از یکدیگر جدا نگه داشته میشوند، و نمیدانند که گروههای دیگر روی چه چیزی کار میکنند.
منبع: reuters
