به گزارش ساوت چاینا مورنینگ پست، دستگاه‌های لیتوگرافی یکی از پیچیده‌ترین ابزارهایی هستند که بشر تاکنون ساخته است و نقشی حیاتی در تولید انبوه تراشه‌ها ایفا می‌کنند. چین هنوز در مراحل بسیار ابتدایی ساخت این دستگاه‌ها قرار دارد.
دستگاه لیتوگرافی جدید چینی‌ها موسوم به شی‌ژی (برگرفته از نام خوشنویس مشهور چین باستان، وانگ شی‌ژی) در آزمایشگاه فناوری کوانتومی دانشگاه ژجیانگ در هانگژو ساخته شده است و از یک باریکه الکترونی متمرکز برای «نوشتن» یا ترسیم مدارهای تراشه روی ویفرهای سیلیکونی استفاده می‌کند.
مدت‌هاست که موسسات تحقیقاتی چین به دلیل محدودیت‌های صادراتی آمریکا به چنین تجهیزاتی دسترسی ندارند؛ و حالا انتظار می‌رود که شی‌ژی تا حدودی این بن‌بست را بشکند.
در سال ۲۰۲۲ واشینگتن محدودیت‌هایی برای صادرات تجهیزات تولید نیم‌رساناها، از جمله دستگاه‌های لیتوگرافی پرتو الکترونی به چین اعمال کرد و همچنین به متحد خود، دولت هلند، فشار آورده است تا مانع از فروش پیشرفته‌ترین فناوری‌های شرکت ای‌اس‌ام‌ال به مشتریان چینی شود.
پکن هم در واکنش به محدودیت‌های صادراتی مذکور، تلاش برای بومی‌سازی تراشه‌های پیشرفته و تولید داخلی آنها را افزایش داده است.
دستگاه‌های لیتوگرافی پرتو الکترونی برخلاف دستگاه‌های لیتوگرافی DUV و EUV شرکت ای‌اس‌ام‌ال نمی‌توانند تراشه‌ها را در مقیاس بزرگ تولید کنند، اما برای مرحله آزمایش بسیار مناسب بوده و از قابلیت ترسیم مدار با دقت بالا و انعطاف‌پذیری چشمگیر در امر طراحی برخوردارند.
شی‌ژی قیمتی پایین‌تر از دستگاه‌های وارداتی دارد و می‌تواند خطوط مدار را با قطر ۸ نانومتر و با دقت مکانی ۶/۰ نانومتر حک کند که مطابق با استانداردهای بین‌المللی است.
منبع: scmp
